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至纯科技:12寸单片湿法设备实现交付 未来可期

2020年06月23日 14:10 来源:广发证券

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核心观点:
     12 寸单片式湿法设备交付华虹集团ICRD,清洗设备业务迈出突破性一步。根据公司官方微信,公司交付给华虹集团ICRD 的 300MM 单片式湿法设备于6 月19 日正式搬入。ICRD(上海集成电路研发中心有限公司)是国家支持组建、产学研合作的国家级集成电路研发中心,拥有目前国内唯一开放的12 英寸集成电路先进工艺研发和国产设备材料评价验证中试线,帮助国内集成电路企业开展各类研究和工艺验证。ICRD 拥有浸没式193nm 光刻机、硅刻蚀机、原子层薄膜生长(ALD)、高能离子注入机以及全套铜互连和Low-K 等先进工艺设备工艺研发能力可达14 纳米以下。至纯科技12 寸单片湿法清洗设备进入ICRD,是公司清洗设备业务迈出突破性一步,通过验证后将有力助推公司单片清洗设备进入量产线。
     槽式设备批量交付,有望实现快速增长。根据公司官方微信,3 月下旬开始公司以每月2~3 台的数量交付设备给客户(包括华润微、楚微,中车,燕东,台湾力积电等客户)。交付的设备中,涵盖了近90%的湿法化学工艺步骤。槽式湿法设备的交付目前已经获得许多客户的重复订单,并且还有许多新客户加入。根据2019 年年报,公司已取得近40 台正式订单,已完成近20 台设备装机。虽然Q1 受疫情影响,当前公司槽式清洗设备交付情况良好,公司清洗设备业务有望加速增长。
     投资建议:预计2020-2022 年收入分别为14.5/20.2/25.0 亿元,对应PS 分别为6.6/4.7/3.8 倍;EPS 分别为0.90/1.50/1.88 元/股。维持前次合计价值50.67 元/股,对应公司20 年9 倍PS。结合业绩和估值情况,继续给予公司“买入”评级。
     风险提示:半导体行业投资进入不及预期;新业务推进不及预期;行业竞争加剧导致毛利率下滑。

责任编辑:lw

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